改進的RCA清洗工藝溶液配比見表2 3。RCA-1（H2O NH4OH H2O2）型洗液：硅片表面的自然氧化層（SiO2）和Si被NH4OH腐蝕，因此附著在硅片表面的顆粒便分散于清洗液中，從而去除表面的顆粒。在NH4OH腐蝕…
2 1RCA清洗法,RCA清洗法又稱工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)濕法清洗工藝，是由美國無線電公司(RCA)的Kem和Puotinen等人于20世紀(jì)60年代提出后，由此得名。RCA濕法清洗由兩種不同的化學(xué)溶液組成，主要洗液成分見表2 1，表…
在光伏太陽能硅片切割過程中，硅片切割液作為硅片切割過程中必須使用的一種輔料耗材產(chǎn)品，其用量隨著光伏太陽能行業(yè)以及中國的硅片加工行業(yè)的壯大而擴展。硅片切割液的作用1）攜帶：…
在微電子工藝中，從半導(dǎo)體單晶硅的拉制、加工到器件的制備，都會產(chǎn)生大量的應(yīng)力；從硅棒的拉制、切片、磨片到后來的拋光，都伴隨著大量的機械加工過程及大量的熱量產(chǎn)生，從而在硅片中…
從全球經(jīng)濟發(fā)展來看, IC 技術(shù)已經(jīng)滲透到國 防建設(shè)和國民經(jīng)濟發(fā)展的各個領(lǐng)域, 成為世界第 一大產(chǎn)業(yè)。IC 所用的材料主要是硅和砷化鎵等, 全球 90%以上 IC 都采用硅片 [1] 。隨著半導(dǎo)體工業(yè) 的飛…
